AmbosBomba de vacío y compresorson dispositivos para procesar gas, pero sus principios de trabajo y su alcance de la aplicación son diferentes.
La función principal de la bomba de vacío es eliminar el gas de la cámara de reacción para reducir la presión en el contenedor para lograr un grado de vacío predeterminado. El gas se extrae del espacio a través del mecanismo de succión y escape para formar un estado de vacío. Las bombas de vacío generalmente se usan en laboratorios, campos de producción y fabricación. En Fabs de obleas, equipos de grabado, equipo de deposición, equipo de litografía EUV, equipo de implantación de iones, equipos de detección y caracterización, etc. Todos deben aspirarse.
La función del compresor es inhalar gas y comprimirlo, aumentar la presión del gas, comprimir el gas en un volumen más pequeño y aumentar la densidad y la presión del gas. Su principio de trabajo es comprimir el gas a través de la válvula de escape y luego colocar el gas comprimido en un tanque de gas u otro equipo. Los compresores generalmente se usan en campos de procesamiento y fabricación. El compresor proporciona el gas CDA del que hablamos a menudo. CDA se utiliza para controlar varios equipos y válvulas de automatización. Para la fabricación de semiconductores, CDA debe ser muy puro y seco. La salida del aire por el compresor debe pasar a través de un sofisticado sistema de filtración para eliminar el aceite, la humedad y otras partículas para garantizar que no haya contaminación de la oblea.
¿Cuáles son las categorías deBomba de vacío y compresor?
En los equipos de semiconductores, las bombas secas y las bombas moleculares se usan comúnmente. Una bomba seca se refiere a una bomba de vacío que no usa ningún líquido como medio de sellado o enfriamiento, evitando el problema de la contaminación por vapor de aceite. Generalmente se usa para la extracción de vacío rugosa del equipo de semiconductores. Las bombas moleculares pueden lograr niveles de vacío extremadamente altos. Las bombas secas y las bombas moleculares a menudo se usan en combinación en equipos de semiconductores para satisfacer las necesidades de diferentes niveles de vacío.
Los compresores se pueden dividir en compresores de aire de vellano giratorio de pistón, tornillo, centrífugo, etc.
Debido a los diferentes diseños y principios de trabajo de la bomba de vacío y el compresor, las bombas de vacío generalmente no pueden reemplazar a los compresores. Aunque las bombas de vacío pueden reducir la presión y la densidad de los gases, no pueden comprimir los gases en volúmenes más pequeños y mayores presiones. Además, debido al rendimiento limitado y las características de trabajo de las bombas de vacío, se adaptan los más adecuados para manejar gases de baja densidad y entornos de baja presión.
Por lo tanto, si el gas debe comprimirse en un volumen más pequeño y una presión más alta, se debe usar un compresor. Por el contrario, si el gas debe extraerse y se forma un estado de vacío, se debe usar una bomba de vacío.
Aunque ambosBomba de vacío y compresorson dispositivos utilizados para procesar gas, existen grandes diferencias en el diseño y el principio de trabajo. Aunque la bomba de vacío puede reducir la presión y la densidad del gas, no puede reemplazar el compresor, especialmente cuando el gas debe comprimirse en un volumen más pequeño y una presión más alta.
